潔凈實(shi)驗室(shi)(shi)是(shi)醫療(liao)衛生、生物制藥、微電子研(yan)發、微生物研(yan)究、精密(mi)儀(yi)器、航(hang)空航(hang)天制造必備的場所，是(shi)實(shi)現(xian)我(wo)國科技自主創新、跨越(yue)發展、趕(gan)超(chao)世界先(xian)進水(shui)平不可缺少的工(gong)具，了解(jie)實(shi)現(xian)潔凈實(shi)驗室(shi)(shi)技術(shu)有(you)助(zhu)于促進實(shi)驗室(shi)(shi)建設與發展。

潔凈實驗室是空氣懸浮粒子濃度受控的實驗室，潔凈區指空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。

目前在不(bu)(bu)同國(guo)家和地區(qu)潔凈實驗室分(fen)級(ji)不(bu)(bu)同，如美國(guo)、歐洲、日本等(deng)有自己的分(fen)級(ji)標準，我國(guo)根據空間(jian)懸浮的粒子(zi)(zi)直(zhi)(zhi)徑大小和數(shu)量分(fen)類(lei)，分(fen)為1—9級(ji)，級(ji)數(shu)越小，所含(han)微粒子(zi)(zi)總數(shu)量越少，所含(han)大直(zhi)(zhi)徑粒子(zi)(zi)數(shu)越小。如1級(ji)潔凈室，每立方米空間(jian)含(han)有直(zhi)(zhi)徑0.1μm的粒子(zi)(zi)不(bu)(bu)多于(yu)10個(ge)，直(zhi)(zhi)徑為0.2μm的粒子(zi)(zi)數(shu)不(bu)(bu)多于(yu)2個(ge)，直(zhi)(zhi)徑大于(yu)0.2μm的粒子(zi)(zi)數(shu)為0。

潔凈實驗室廣泛應用(yong)于醫院的手術(shu)室、藥品研(yan)(yan)發(fa)生產(chan)、微(wei)生物(wu)研(yan)(yan)究、微(wei)生物(wu)產(chan)品開發(fa)以及微(wei)電子元(yuan)器件開發(fa)、精(jing)密儀器制造等行業(ye)。

對潔凈實驗(yan)(yan)室(shi)(shi)(shi)貢(gong)獻(xian)的(de)微(wei)粒子主(zhu)要有(you)(you)內(nei)(nei)因和(he)外因兩(liang)個方面(mian)，內(nei)(nei)因是(shi)實驗(yan)(yan)室(shi)(shi)(shi)內(nei)(nei)部(bu)材料、設備、人員以及實驗(yan)(yan)室(shi)(shi)(shi)建筑材料產生的(de)微(wei)粒子，外因主(zhu)要是(shi)從實驗(yan)(yan)室(shi)(shi)(shi)外部(bu)通(tong)過實驗(yan)(yan)室(shi)(shi)(shi)縫隙、空調系(xi)統、管道、新(xin)風系(xi)統、外部(bu)人員等進(jin)入(ru)實驗(yan)(yan)室(shi)(shi)(shi)帶入(ru)的(de)微(wei)粒子。粒子包括一般(ban)微(wei)塵粒子（如塵埃、短纖維）、沉積的(de)微(wei)生物(wu)(wu)以及有(you)(you)害(hai)化學物(wu)(wu)質（如酸性(xing)氣體(ti)、堿性(xing)氣體(ti)、氣相可(ke)凝聚化合(he)物(wu)(wu)和(he)氣相摻(chan)雜化合(he)物(wu)(wu)）。

控制微(wei)粒子(zi)(zi)(zi)產生(sheng)的核心就是減少實驗(yan)(yan)(yan)室(shi)內(nei)部(bu)粒子(zi)(zi)(zi)的產生(sheng)，防止實驗(yan)(yan)(yan)室(shi)外(wai)部(bu)粒子(zi)(zi)(zi)的進(jin)入，減少實驗(yan)(yan)(yan)室(shi)空間內(nei)粒子(zi)(zi)(zi)數量，同時(shi)將(jiang)實驗(yan)(yan)(yan)室(shi)內(nei)部(bu)的各種微(wei)粒子(zi)(zi)(zi)進(jin)行過(guo)濾(lv)或排到實驗(yan)(yan)(yan)室(shi)之外(wai)。為此，潔凈實驗(yan)(yan)(yan)室(shi)采用以(yi)下主要措施。

綜合平面設計

工藝(yi)平面布(bu)置(zhi)合(he)理、緊湊。潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(shi)(shi)（區(qu)）內只布(bu)置(zhi)必要(yao)的(de)工藝(yi)設(she)備以及有空氣(qi)(qi)(qi)潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)等(deng)級要(yao)求(qiu)的(de)工序(xu)和(he)(he)工作(zuo)室(shi)(shi)(shi)。潔(jie)凈(jing)(jing)區(qu)、人員凈(jing)(jing)化(hua)、物料(liao)(liao)凈(jing)(jing)化(hua)和(he)(he)其(qi)他輔助用(yong)房應(ying)(ying)分區(qu)布(bu)置(zhi)，并應(ying)(ying)與生產(chan)操作(zuo)、工藝(yi)設(she)備安裝和(he)(he)維修、管線布(bu)置(zhi)、氣(qi)(qi)(qi)流流型以及凈(jing)(jing)化(hua)空調系統等(deng)各種技術設(she)施進行綜合(he)協調。在滿足生產(chan)工藝(yi)和(he)(he)噪聲要(yao)求(qiu)的(de)前(qian)提(ti)下(xia)，對(dui)空氣(qi)(qi)(qi)潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)要(yao)求(qiu)嚴格(ge)的(de)潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(shi)(shi)（區(qu)）宜靠(kao)近空氣(qi)(qi)(qi)調節(jie)機(ji)房，空氣(qi)(qi)(qi)潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)等(deng)級相同的(de)工序(xu)和(he)(he)工作(zuo)室(shi)(shi)(shi)應(ying)(ying)集中(zhong)布(bu)置(zhi)。潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(shi)(shi)（區(qu)）內對(dui)空氣(qi)(qi)(qi)潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)要(yao)求(qiu)嚴格(ge)的(de)工序(xu)應(ying)(ying)布(bu)置(zhi)在上風(feng)(feng)側，易產(chan)生污(wu)染的(de)工藝(yi)設(she)備應(ying)(ying)布(bu)置(zhi)在靠(kao)近回風(feng)(feng)口位置(zhi)。不同空氣(qi)(qi)(qi)潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)等(deng)級房間(jian)之間(jian)聯系頻(pin)繁時，應(ying)(ying)設(she)有防止污(wu)染的(de)措施，如氣(qi)(qi)(qi)閘室(shi)(shi)(shi)、傳(chuan)遞窗等(deng)。設(she)置(zhi)單獨(du)的(de)物料(liao)(liao)入口，物料(liao)(liao)傳(chuan)遞路(lu)線應(ying)(ying)最短，物料(liao)(liao)進入潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(shi)(shi)（區(qu)）之前(qian)應(ying)(ying)進行清潔(jie)處(chu)理。

潔(jie)凈室（區(qu)）內應少(shao)設隔(ge)(ge)間(jian)，但(dan)火(huo)災危險性等(deng)級為甲(jia)、乙類的(de)(de)與非甲(jia)、乙類相鄰的(de)(de)生產(chan)(chan)(chan)區(qu)段之(zhi)間(jian)，或有(you)防(fang)火(huo)分隔(ge)(ge)要(yao)(yao)求(qiu)者應當(dang)設置隔(ge)(ge)間(jian)。按產(chan)(chan)(chan)品(pin)生產(chan)(chan)(chan)工藝需(xu)要(yao)(yao)有(you)分隔(ge)(ge)要(yao)(yao)求(qiu)時或生產(chan)(chan)(chan)聯系(xi)少(shao)、經(jing)常不(bu)同(tong)時使用(yong)的(de)(de)兩個生產(chan)(chan)(chan)區(qu)段之(zhi)間(jian)可以設置隔(ge)(ge)間(jian)。運行班次或使用(yong)時間(jian)不(bu)同(tong)、生產(chan)(chan)(chan)工藝中某工序(xu)散發的(de)(de)物質或氣體對其他工序(xu)的(de)(de)產(chan)(chan)(chan)品(pin)質量有(you)影(ying)響，對溫(wen)、濕度控制要(yao)(yao)求(qiu)差別大、凈化空(kong)調(diao)系(xi)統與一般空(kong)調(diao)系(xi)統等(deng)其凈化空(kong)調(diao)系(xi)統宜分開設置。

合理結構設計

潔(jie)凈廠(chang)房的耐火等級(ji)(ji)不應(ying)低于二級(ji)(ji)，應(ying)符合現行(xing)國家標準GB50016《建筑設(she)計防火規范》有關規定(ding)。

潔凈(jing)(jing)室內墻壁和頂(ding)棚的表面(mian)(mian)應(ying)(ying)(ying)平整(zheng)、光滑(hua)、不(bu)起(qi)塵、避免(mian)眩光，便于除塵，并應(ying)(ying)(ying)減少凹凸面(mian)(mian)，踢腳不(bu)應(ying)(ying)(ying)突(tu)出墻面(mian)(mian)；潔凈(jing)(jing)室抹灰應(ying)(ying)(ying)采用(yong)符(fu)合(he)GB50210《建筑裝(zhuang)飾裝(zhuang)修工程(cheng)質量(liang)驗收規范》中(zhong)高級抹灰的要求。潔凈(jing)(jing)室地(di)面(mian)(mian)設計應(ying)(ying)(ying)符(fu)合(he)生產(chan)工藝要求，地(di)面(mian)(mian)應(ying)(ying)(ying)平整(zheng)、耐磨、易(yi)清洗、不(bu)開裂、不(bu)易(yi)積聚(ju)靜電，潮濕地(di)區(qu)墊(dian)層應(ying)(ying)(ying)有防潮措(cuo)施。

潔(jie)(jie)(jie)(jie)凈(jing)廠房(fang)內給水排水干(gan)管(guan)(guan)(guan)應敷(fu)設(she)(she)在(zai)技術夾層(ceng)或技術夾道(dao)(dao)內，也可(ke)埋地敷(fu)設(she)(she)。潔(jie)(jie)(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)內管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)宜暗裝，與(yu)本(ben)房(fang)間(jian)無關(guan)的(de)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)不(bu)宜穿過。管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)外表面(mian)可(ke)能結露(lu)時，應采取防護措(cuo)施；防結露(lu)層(ceng)外表面(mian)應光滑(hua)，易于(yu)(yu)清洗，并不(bu)得對潔(jie)(jie)(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)造成污染。管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)穿過潔(jie)(jie)(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)墻壁(bi)、樓板(ban)和(he)頂棚時應設(she)(she)套(tao)管(guan)(guan)(guan)，管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)和(he)套(tao)管(guan)(guan)(guan)之間(jian)應采取可(ke)靠的(de)密封(feng)措(cuo)施。無法(fa)設(she)(she)置(zhi)套(tao)管(guan)(guan)(guan)的(de)部位也應采取有效的(de)密封(feng)措(cuo)施。空(kong)(kong)氣(qi)(qi)潔(jie)(jie)(jie)(jie)凈(jing)度(du)等(deng)級(ji)嚴(yan)于(yu)(yu)6級(ji)的(de)潔(jie)(jie)(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)內不(bu)應設(she)(she)地漏(lou)，如(ru)必須(xu)設(she)(she)置(zhi)時，應采用(yong)(yong)專用(yong)(yong)地漏(lou)。空(kong)(kong)氣(qi)(qi)潔(jie)(jie)(jie)(jie)凈(jing)度(du)等(deng)級(ji)等(deng)于(yu)(yu)或嚴(yan)于(yu)(yu)7級(ji)的(de)潔(jie)(jie)(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)內不(bu)宜設(she)(she)排水溝。空(kong)(kong)氣(qi)(qi)潔(jie)(jie)(jie)(jie)凈(jing)度(du)等(deng)級(ji)等(deng)于(yu)(yu)或嚴(yan)于(yu)(yu)7級(ji)的(de)潔(jie)(jie)(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)內不(bu)應穿過排水立管(guan)(guan)(guan)，其他潔(jie)(jie)(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)內穿過排水立管(guan)(guan)(guan)時不(bu)應設(she)(she)檢查口。潔(jie)(jie)(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)（區(qu)）內的(de)吸塵系統管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)應暗敷(fu)，吸塵口應加蓋封(feng)堵。

電源(yuan)進(jin)線(xian)應(ying)(ying)(ying)設(she)(she)置(zhi)切(qie)斷裝(zhuang)置(zhi)，并(bing)宜(yi)設(she)(she)在(zai)潔(jie)(jie)凈室(shi)（區）外便于(yu)管(guan)理的(de)(de)(de)(de)地(di)點。凈室(shi)內（區）的(de)(de)(de)(de)配(pei)電設(she)(she)備應(ying)(ying)(ying)選(xuan)擇不易積塵、便于(yu)擦拭的(de)(de)(de)(de)小型暗裝(zhuang)設(she)(she)備，不宜(yi)設(she)(she)置(zhi)大型落地(di)安裝(zhuang)的(de)(de)(de)(de)配(pei)電設(she)(she)備。潔(jie)(jie)凈室(shi)（區）內的(de)(de)(de)(de)電氣管(guan)線(xian)宜(yi)暗敷，穿線(xian)導管(guan)應(ying)(ying)(ying)采用(yong)不燃材料。潔(jie)(jie)凈區的(de)(de)(de)(de)電氣管(guan)線(xian)管(guan)口及安裝(zhuang)于(yu)墻(qiang)上的(de)(de)(de)(de)各種電器設(she)(she)備與(yu)墻(qiang)體接縫(feng)處(chu)應(ying)(ying)(ying)有(you)可(ke)靠(kao)的(de)(de)(de)(de)密(mi)封措施(shi)。當燈(deng)(deng)具嵌入頂棚暗裝(zhuang)時，安裝(zhuang)縫(feng)隙(xi)應(ying)(ying)(ying)有(you)可(ke)靠(kao)的(de)(de)(de)(de)密(mi)封措施(shi)。潔(jie)(jie)凈室(shi)內一般照(zhao)明(ming)燈(deng)(deng)具應(ying)(ying)(ying)為吸頂明(ming)裝(zhuang)，潔(jie)(jie)凈室(shi)（區）應(ying)(ying)(ying)采用(yong)專(zhuan)用(yong)燈(deng)(deng)具。

空氣凈化技術

潔凈(jing)室(shi)產生污(wu)染(ran)的(de)粒(li)子包括懸浮污(wu)染(ran)、生物污(wu)染(ran)、空(kong)氣(qi)(qi)分(fen)子污(wu)染(ran)、靜電污(wu)染(ran)等(deng)。直徑為0.1μm-5μm的(de)塵埃(ai)是污(wu)染(ran)潔凈(jing)室(shi)的(de)主要來源，采用空(kong)氣(qi)(qi)凈(jing)化技術是濾(lv)除此類(lei)微塵的(de)有效措(cuo)施。可以通過(guo)室(shi)內空(kong)氣(qi)(qi)過(guo)濾(lv)器，室(shi)外補(bu)充清(qing)潔空(kong)氣(qi)(qi)，排除污(wu)染(ran)空(kong)氣(qi)(qi)的(de)措(cuo)施實現。

應根據空(kong)氣(qi)(qi)潔凈度(du)等(deng)級要(yao)求，選用不同(tong)的氣(qi)(qi)流(liu)流(liu)型(xing)。潔凈室(shi)（區(qu)）的清掃宜(yi)采(cai)用移動式高(gao)效真(zhen)空(kong)吸塵器，但空(kong)氣(qi)(qi)潔凈度(du)等(deng)級為1級—5級的單向流(liu)潔凈室(shi)宜(yi)設置集中式真(zhen)空(kong)吸塵系(xi)統。

一般(ban)采(cai)取多級過濾器(qi)，多級預過濾和(he)多級高效(xiao)甚(shen)至(zhi)超高效(xiao)過濾器(qi)。潔(jie)(jie)凈室（區(qu)(qu)(qu)）與周圍空間(jian)必須維(wei)持(chi)一定(ding)的(de)壓(ya)(ya)差(cha)，并應按工(gong)藝要求決定(ding)維(wei)持(chi)正壓(ya)(ya)差(cha)或負壓(ya)(ya)差(cha)。不(bu)(bu)同等級的(de)潔(jie)(jie)凈室之間(jian)的(de)壓(ya)(ya)差(cha)不(bu)(bu)宜(yi)小于(yu)5Pa，潔(jie)(jie)凈區(qu)(qu)(qu)與非潔(jie)(jie)凈區(qu)(qu)(qu)之間(jian)的(de)壓(ya)(ya)差(cha)以及潔(jie)(jie)凈區(qu)(qu)(qu)與室外的(de)壓(ya)(ya)差(cha)不(bu)(bu)應小于(yu)10P。潔(jie)(jie)凈室維(wei)持(chi)不(bu)(bu)同的(de)壓(ya)(ya)差(cha)值(zhi)所需的(de)壓(ya)(ya)差(cha)風量，采(cai)用(yong)縫(feng)隙法(fa)(fa)或換氣次數法(fa)(fa)確定(ding)。

對于化(hua)學污染，選(xuan)用合(he)適的(de)化(hua)學過濾器以(yi)及合(he)理的(de)充填介質，控(kong)制(zhi)環境中的(de)化(hua)學污染物濃度值(zhi)達到所在環境限(xian)定，最終將取得(de)更佳的(de)凈化(hua)效(xiao)果。

防靜電技術

靜電荷產(chan)生“力(li)學效應”能(neng)(neng)吸(xi)附塵埃粒子，形成不(bu)可(ke)(ke)忽視(shi)的塵埃源，常見的靜電來(lai)源有工藝設(she)備(bei)、部分塑料、人員活動。地(di)面、服(fu)裝、實(shi)驗(yan)臺和家具、包裝和裝運(yun)材(cai)料、裝配(pei)、清潔(jie)、試驗(yan)和維修區都可(ke)(ke)能(neng)(neng)產(chan)生靜電。

一是采用等(deng)電(dian)位系統消除靜電(dian)影(ying)響。對于(yu)表面電(dian)阻(zu)(zu)率小(xiao)于(yu)1012Ω或體積電(dian)阻(zu)(zu)率小(xiao)于(yu)1011Ω?cm、或兩(liang)者均符(fu)合的設施(shi)元件(jian)、材料、設備進行接地(di)處理，使實驗室系統中所有(you)物體（包括人(ren)員）都處在同一電(dian)位上(shang)。如采取腕(wan)帶、足(zu)帶、防靜電(dian)鞋具、防靜電(dian)手套(tao)(tao)和指套(tao)(tao)等(deng)。

二是空氣(qi)電(dian)離(li)裝(zhuang)置消除靜電(dian)影響。空氣(qi)離(li)子(zi)化對環境必要(yao)的(de)非(fei)導體（如電(dian)路板(ban)材(cai)料(liao)、器(qi)件(jian)封裝(zhuang)）上的(de)電(dian)荷實施(shi)中和。可(ke)采用(yong)局部或全室空氣(qi)離(li)子(zi)化中和手段。常見的(de)有放射性電(dian)離(li)器(qi)、交(jiao)流(liu)高(gao)壓(ya)電(dian)離(li)器(qi)、直流(liu)高(gao)壓(ya)電(dian)離(li)器(qi)、X射線(xian)電(dian)離(li)器(qi)。

三是靜(jing)電(dian)(dian)(dian)(dian)防護(hu)(hu)材(cai)(cai)料(liao)(liao)。合(he)理(li)使用(yong)導電(dian)(dian)(dian)(dian)材(cai)(cai)料(liao)(liao)和(he)靜(jing)電(dian)(dian)(dian)(dian)耗散材(cai)(cai)料(liao)(liao)，如包括工作服的選擇。在靜(jing)電(dian)(dian)(dian)(dian)保護(hu)(hu)區內，采用(yong)低帶電(dian)(dian)(dian)(dian)和(he)靜(jing)電(dian)(dian)(dian)(dian)耗散材(cai)(cai)料(liao)(liao)。靜(jing)電(dian)(dian)(dian)(dian)保護(hu)(hu)區外(wai)，使用(yong)低帶電(dian)(dian)(dian)(dian)和(he)靜(jing)電(dian)(dian)(dian)(dian)放電(dian)(dian)(dian)(dian)屏(ping)蔽材(cai)(cai)料(liao)(liao)。

四是(shi)隔柵(zha)地(di)面。主(zhu)要用(yong)于(yu)(yu)單向(xiang)流潔凈室的高架(jia)地(di)板，常用(yong)材料為鑄鋁，表面噴涂或復合其他材料。地(di)面覆蓋物主(zhu)要用(yong)于(yu)(yu)非單向(xiang)流潔凈室，與地(di)面粘(zhan)接，接縫用(yong)密封(feng)膠填封(feng)。地(di)面油(you)漆(qi)、涂料、面漆(qi)，主(zhu)要用(yong)于(yu)(yu)環境控(kong)(kong)制區和靜電控(kong)(kong)制區。

噪聲控制技術

噪(zao)(zao)聲(sheng)將導致相(xiang)關物品的(de)(de)產生(sheng)微塵粒子，污染(ran)潔凈(jing)室環(huan)境，因此必須加以(yi)控(kong)(kong)制(zhi)。潔凈(jing)廠房的(de)(de)平面和(he)空間設(she)(she)(she)(she)計應(ying)考慮噪(zao)(zao)聲(sheng)控(kong)(kong)制(zhi)要求(qiu)。潔凈(jing)室的(de)(de)圍護結構(gou)應(ying)有(you)良(liang)好的(de)(de)隔聲(sheng)性能(neng)，并宜(yi)使(shi)其各部分隔聲(sheng)量相(xiang)接近(jin)。潔凈(jing)室內的(de)(de)各種設(she)(she)(she)(she)備均應(ying)選用低噪(zao)(zao)聲(sheng)產品。對(dui)于輻(fu)射噪(zao)(zao)聲(sheng)值(zhi)(zhi)超(chao)過潔凈(jing)室允許值(zhi)(zhi)的(de)(de)設(she)(she)(she)(she)備，設(she)(she)(she)(she)置專(zhuan)用隔聲(sheng)或消聲(sheng)設(she)(she)(she)(she)施。

凈(jing)化空調系統(tong)(tong)(tong)噪聲(sheng)超過允許值時，應(ying)(ying)采取隔聲(sheng)、消聲(sheng)、隔振等控制(zhi)措施。除事故排風(feng)外，潔(jie)凈(jing)室(shi)內的排風(feng)系統(tong)(tong)(tong)應(ying)(ying)進行(xing)減(jian)噪設計(ji)。根據室(shi)內容許噪聲(sheng)級要求，凈(jing)化空調系統(tong)(tong)(tong)風(feng)管內風(feng)速應(ying)(ying)符合相(xiang)關標(biao)準要求。

微振控制技術

潔凈(jing)(jing)室(shi)應(ying)當考慮微振(zhen)源，并采取微振(zhen)控制(zhi)技術加以控制(zhi)。在結構選型、隔振(zhen)縫設置、壁板與地面(mian)壁板與頂(ding)棚連(lian)接處，應(ying)按微振(zhen)控制(zhi)要(yao)求設計(ji)。潔凈(jing)(jing)室(shi)與周圍輔助性站房內有強烈振(zhen)動的設備及連(lian)接管(guan)道應(ying)采取主(zhu)動隔振(zhen)措施。

應測定潔(jie)凈(jing)(jing)廠房內(nei)、外各類振(zhen)源(yuan)對潔(jie)凈(jing)(jing)廠房精(jing)密(mi)(mi)設(she)備、精(jing)密(mi)(mi)儀(yi)(yi)器儀(yi)(yi)表位置(zhi)處的(de)綜合振(zhen)動(dong)影響，以采(cai)取被動(dong)隔振(zhen)措(cuo)施。精(jing)密(mi)(mi)設(she)備、精(jing)密(mi)(mi)儀(yi)(yi)器儀(yi)(yi)表的(de)被動(dong)隔振(zhen)措(cuo)施宜采(cai)用(yong)能自(zi)動(dong)校正傾斜的(de)空(kong)氣(qi)彈簧隔振(zhen)裝置(zhi)。對供應空(kong)氣(qi)彈簧用(yong)的(de)氣(qi)源(yuan)應進行凈(jing)(jing)化處理。

先進材料技術

各類建筑材(cai)(cai)料(liao)(liao)、風管(guan)、附件及輔助材(cai)(cai)料(liao)(liao)應(ying)不(bu)(bu)(bu)燃(ran)或難(nan)燃(ran)且(qie)不(bu)(bu)(bu)產生(sheng)微塵。潔凈廠房(fang)的(de)(de)建筑圍護結構和(he)室(shi)內裝修，應(ying)選(xuan)用(yong)氣密性(xing)良好，且(qie)在(zai)溫(wen)度(du)和(he)濕度(du)變(bian)化時變(bian)形(xing)小、污(wu)染物濃(nong)度(du)符(fu)合(he)現行國家有關標準規定限(xian)值的(de)(de)材(cai)(cai)料(liao)(liao)。潔凈室(shi)（區）裝飾(shi)材(cai)(cai)料(liao)(liao)及密封材(cai)(cai)料(liao)(liao)不(bu)(bu)(bu)得(de)采用(yong)釋放對室(shi)內各種產品品質有影響物質的(de)(de)材(cai)(cai)料(liao)(liao)。墻面抹灰后應(ying)刷涂(tu)料(liao)(liao)面層(ceng)，并應(ying)選(xuan)用(yong)難(nan)燃(ran)、不(bu)(bu)(bu)開裂(lie)、耐(nai)腐蝕、耐(nai)清(qing)洗、表面光(guang)滑、不(bu)(bu)(bu)易吸水變(bian)質發霉的(de)(de)涂(tu)料(liao)(liao)。

文章來源未來實驗室學苑